| 2D und 3D-Analysen und Messungen im Nanometerbereich |
| | |
| | Die 2D/3D-Laserscanning-Farbmikroskope von Keyence, Neu Isenburg, kombinieren den Komfort eines herkömmlichen optischen Mikroskops mit den Vorzügen eines Rasterelektronenmikroskop (REM) und den Analysefunktionen eines Oberflächen-/Rauhheitsmessgeräts. |
| | |
| | |
| | |
| | Das Topmodell VK-9700 bietet eine maximale Auflösung von 0,001 µm (=1 Nanometer) und ermöglicht dadurch Vergrößerungen bis zum 18 000-Fachen. |
| | |
| | |
| | Das Standardmodell VK-8700 verfügt über eine Messauflösung von 0,01 µm und eine maximale Vergrößerung bis zum 12 000-Fachen. |
| | |
| | Damit lassen sich neben allgemeinen Oberflächenbetrachtungen zu Forschungszwecken insbesondere auch Fehler beim Ätzen, Dotieren oder Sputtern von Mikrochips analysieren wie zum Beispiel Fehler beim Bonding, Fehler an Ball Grid Arrays/Pin Grid Arrays/Surface Mount Devices, Werkstofffehler von Relaiskontakten oder anderen elektrischen Kontaktsystemen sowie Fehler an Elektrolytkondesatoren oder Produktfehler an Flachbildschirmen.
|
| | |
| | Beide konfokalen 2D-/3D-Laserscanning-Farbmikroskope verwenden zwei verschiedene Lichtquellen: eine kurzwellige Laserlichtquelle und eine weiße Lichtquelle zur Beleuchtung. |
| | |
| | Der Laserstrahl kommt aus einer punktförmigen Lichtquelle. Das 2D-/3D-Laserscanning-Farbmikroskop tastet seinen Betrachtungsbereich mit Hilfe des optischen X-Y-Scansystems ab und rastert die Bilder dabei mit einer Auflösung von 1024 x 768 Bildpunkten ab. |
| | |
| | Das von der weißen Lichtquelle stammende reflektierte Licht wird mit einer CCD-Kamera erkannt. Die CCD-Kamera erfasst Pixel für Pixel die Farbinformationen an dem mit der Laserlichtquelle ermittelten Peak (Brennpunkt). Die beiden Farbmikroskope ermöglichen daher Betrachtungen in Echtfarben, wozu REMs oder Oberflächen-/Rauhheitsmessgeräte nicht in der Lage sind. Für den Anwender bedeutet dies, dass er ohne jegliche Vorbereitung farbige räumliche Betrachtungen und Analysen im Sub-Mikrobereich mit hoher Präzision durchführen kann. |
